一、日常基礎メンテナンス
1、電源投入前の検査
毎日電源ケーブル、配管インタフェースの密封性及びディスプレイパラメータを検査し、『設備運行日誌』を創立して重要なデータ（例えば圧力値、警報情報）を記録する必要がある。作業終了後、残留サンプルを空にし、腐食性成分の滞留を避ける必要がある。
2、コア部品のクリーニング
試料に直接接触する部品（例えば注入バルブ、定量リング）は無水エタノールで拭く必要があり、塩結晶や粒子状物質が流路を塞ぐのを防止する。
二、コアシステムの特定項目の保守
1、冷凍システムのメンテナンス
毎月半導体冷凍モジュールの放熱ファンとフィルターの清潔度を検査し、液体窒素補助冷却システムはデュワボトルの真空度を検査し、シールリングを交換する必要がある。
冷熱交換界面には熱伝導性シリコーングリースを均一に塗布し、熱抵抗の増大によるエネルギー消費の上昇を避ける必要がある。
2、気道システムの深さ清掃
四半期ごとにステンレス鋼コルゲート管、逆止弁などの部品を分解し、超音波洗浄機を用いて有機物の堆積を除去し、乾燥管内にモレキュラーシーブを入れて除湿効率を向上させる。
三、周期的なメンテナンスと校正
1、年度オーバーホール計画
予備濃縮カラムの高温活性化再生、故障濾過綿の交換、回路基板の清掃及びリレー接点酸化層を含み、冷媒の充填は専門技術者が行う必要がある。
2、センサ校正
温度センサは毎年第三者による較正が必要であり、流量制御器（MFC）は石鹸膜流量計による検証を提案し、光イオン化検出器は定期的にアルゴンパージする必要がある。
四、応急と記憶規範
1、突発停電処理
直ちにキャリアガス供給を停止し、逆吸引による設備の損傷を防止する。
2、長期停止メンテナンス
完全な洗浄プログラムを実行し、保管環境は恒温（5-35℃）、低湿（<60%）、輸送時に回転部品を固定する必要がある。
三級養生システム（日常巡回検査、特定項目メンテナンス、周期校正）を通じて設備の寿命を著しく延長し、低温真空濃縮システムの効率的で安定した運行を確保することができる。